HZR润丰源分享:洁净度的等级划分
2021-12-22 21:42:18
洁净度的等级划分
一、槪述所谓净化车间,是指由于微电子生产制造场所对生产车间内
的洁净程度有一定要求而特殊设计空气过滤、使车间内的灰尘浓
度满足一定要求的车间。净化车间又称洁净厂房、无尘室等。净
化车间按其单位体积内的灰尘数量,可分为不同等级。典型的净
化车间为100级(即每立方英尺空间内最多100个尘粒)或者更
低。
由于各个国家使用的单位体积的单位制不同,分级标准也就
不同。西方不少国家仍然使用每立方英尺内的灰尘含觉来分级,
与使用每立方米内的灰尘含M来划分的洁净等级,就存在换算困
难的问越。
但是,无论使用哪种单位制,所依据的基本原则是一致的,即:
均按1分钟单位体积内的灰尘粒子数,来划分洁净等级。例如,对
某一直径的粒子来说,可以定义每立方英尺内的粒子数为丨个,称
为 洁 净 度 1 级 ; 每 立 方 英 尺 内 的 粒 子 数 为 1 0 个 , 称 为 洁 净 度 1 0
级;粒子数为100个,洁净度为100级;其余类推。
表5-1给出了 ISO 14644规定的净化车间的等级划分。目
前大部分国家均采用这一标准9。
我国也采用ISO 14644的净化车间的分级方法。
为了便于读者参考,编者在表5 -2中给出了世界主要工业发
达国家净化车间的分级体系比较(以0.5 p粒子为例)。