​洁净度的等级划分

2018-07-25 15:18:50

洁净度的等级划分 

一、槪述所谓净化车间,是指由于微电子生产制造场所对生产车间内 的洁净程度有一定要求而特殊设计空气过滤、使车间内的灰尘浓 度满足一定要求的车间。净化车间又称洁净厂房、无尘室等。净 化车间按其单位体积内的灰尘数量,可分为不同等级。典型的净 化车间为100级(即每立方英尺空间内最多100个尘粒)或者更 低。 由于各个国家使用的单位体积的单位制不同,分级标准也就 不同。西方不少国家仍然使用每立方英尺内的灰尘含觉来分级, 与使用每立方米内的灰尘含M来划分的洁净等级,就存在换算困 难的问越。 但是,无论使用哪种单位制,所依据的基本原则是一致的,即: 均按1分钟单位体积内的灰尘粒子数,来划分洁净等级。例如,对 某一直径的粒子来说,可以定义每立方英尺内的粒子数为丨个,称 为 洁 净 度 1 级 ; 每 立 方 英 尺 内 的 粒 子 数 为 1 0 个 , 称 为 洁 净 度 1 0 级;粒子数为100个,洁净度为100级;其余类推。 表5-1给出了 ISO 14644规定的净化车间的等级划分。目 前大部分国家均采用这一标准9。

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我国也采用ISO 14644的净化车间的分级方法。 为了便于读者参考,编者在表5 -2中给出了世界主要工业发 达国家净化车间的分级体系比较(以0.5 p粒子为例)。

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